格蓝若精密主动减振系统首秀，闪耀光电产业大会

在众多参展企业中，我司与华科团队共同打造的系列高性能精密主动减振系统精彩亮相，成为与会者关注的焦点。精密主动减振系统，具备优秀的隔振、减振、抗冲击功能，适用于半导体制造、科学仪器、精密加工、生命科学、航天航空航海等各领域，尤其在晶圆生产制造环节发挥关键作用，能够提供高性能地基隔振，并快速整定台面在检测与测量时运动冲击带来的波动，极大地提升晶圆生产效率和产品质量。目前，公司最新减振系统产品可以满足X纳米级光刻设备运行要求。