超精密主动减振系统
"高性能主动减振技术"是保证半导体制造装备、精密检测设备、量测设备、超精密加工机床等超稳定工作的核心技术
Product Introduction
产品介绍

团队历时十余年,开展降减隔振频率、减隔振动传递、稳承载平台、集系统设计的系统性研究,
在负刚度、变阻尼和减隔振-稳姿协同方面具有独创性成果, 研制40余种超精密减振器并形成标准,
性能媲美国际同类产品,相关成果获国家技术发明二等奖、国家科技进步二等奖。

Technical advantages
技术优势
  • 突破系统全局的
    抑振设计技术

    提出环境-载体-抑振装置-抑振对象的耦合动力学建模与分析方法,发明全球首台电磁扭转动刚度测试设备,构建抑振装置个性化设计、测评体系,实现了分析-设计-定制一体化系铳解决方案的突破。
  • 发明抑振-定位协同的
    位姿稳定控制技术

    揭示定位和抑振耦合机制,提出绝对位置和速度反馈的协同控割策略,发明传感器测量带宽拓展方法,控制带宽向低频拓展十倍频程,抑振一定位平台位姿稳定精度达纳米级,国际最优。
  • 发明无源频变阻尼的
    宽频域抑振技术

    揭示了气、液、磁多种介质和结构耦合作用的阻尼频变机制,发明了等效绝对阻尼的无源频变阻尼构型和结构,使共振区振幅降低90%以上,高预振动传递衰减速率接近-40dB/dec的极限。
  • 首创相斥磁性负刚度的
    近零频率抑振技术

    提出相斥磁性负刚度抑振原理,发明了高承裁的近零频率减隔振技术与装置,吨级承载下固有频率低至0.19Hz,是所见报道的国际最高水平。
Application scenarios
应用场景

超精密主动减振系统是保证高端制造设备、精密仪器设备稳定运行的关键,广泛应用于半导体制造各环节。
当前,超精密主动减振系统处于“卡脖子”状态,海外厂家市场占有率100%,我国长期空白。

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